Diseño de un banco de pruebas para un reactor de plasma de hidrógeno

Resumen

RESUMEN
Las fuentes de iones son máquinas capaces de producir haces 
de partículas cargadas. Son equipos ampliamente utilizados en el 
ámbito industrial cuyas aplicaciones van desde la implantación 
iónica en semiconductores o los tratamientos médicos contra el 
cáncer a los motores de satélites conocidos como thrusters. La 
implantación iónica en materiales no conductores constituye, 
también, un amplio campo industrial en el que las fuentes de 
iones juegan un papel fundamental [1]. Todas las fuentes de iones 
generan un plasma físico del que luego se extraen los iones para 
formar un haz. Las características de este tipo de máquinas en 
cuanto a fiabilidad, eficiencia y reproducibilidad así como las 
características de los haces de partículas que se extraen de las 
ellas están íntimamente ligadas a los parámetros del plasma que 
generan y, éstos a su vez, dependen en gran medida del diseño 
ingenieril de la máquina. 
En este trabajo se muestra el diseño de un banco de pruebas 
construido con la finalidad de estudiar la influencia del diseño 
ingenieril de un reactor de plasma en las características del mismo 
y, en consecuencia, en las de los haces de partículas que del él 
puedan extraerse. El banco de pruebas, que se ha llamado TIPS: 
Test-bench for Ion Sources Plasma Studies, consiste un reactor de 
plasma de tipo ECR (Electron Cyclotron Resonance) que ha sido 
sometido a modificaciones estructurales importantes para dotarlo 
de la flexibilidad que un estudio experimental de ingeniería 
requiere. 
Palabras clave: reactor de plasma, ingeniería de fuentes de 
iones.